首台光刻机在肥问世

作者：张洪金 文章来源：新安晚报 点击数： 日期：2007-12-26 8:52:51    　　昨日，合肥经济技术开发区管委会正式宣告：国内首台具有世界领先水平、拥有完全自主知识产权的直写式光刻机在合肥面世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。 科研人员正运用合肥制造的“第一光刻机”刻写空白晶元。 　　据悉，光刻机是生产电子芯片的最关键设备之一，电子芯片内的电路图案都是由光刻机产生的。每一代半导体技术的发展都是以光刻线宽为代表，合肥生产的直写式光刻机分辨率达到亚微米级，且产能较高；与目前国际上同类产品相比，已经达到了世界领先水平。 　　目前在中国，生产用光刻机完全依赖进口，国产品牌的亚微米级光刻机更是空白。